Die Massedurchflussmesser und -regler dieser Baureihe sind für die hohen Anforderungen der Halbleiter- und Beschichtungsindustrie entwickelt worden. Metallische Abdichtung verbunden mit hoher Leckdichtigkeit, Reinraumfertigung und Elektropolierung aller medienberührten Teile sind die Hauptmerkmale dieser Baureihe. Durch das minimale Totvolumen und die metallische Abdichtung wird dieser Gerätetyp aus sicherheitstechnischen Gründen auch für sehr aggressive und toxische Gase eingesetzt.

Durch die modulare Bauweise sind Absperrventile, Filter, Regelventile, Drucksensoren und Massedurchflusssensoren in einem oder mehreren Gerätekörpern miteinander kombinierbar. Die Module können ohne Ausbau der Grundkörper aus der Leitung ausgetauscht werden, um den Wartungsaufwand und damit die Downtime zu minimieren.

Kurz und knapp:

• Hochpräzise
• Sehr kompakt und servicefreundlich 
• Metalloberflächen elektropoliert
• Schnittstellen ProfiBus, ModBus, EtherCat, DeviceNet, FlowBus, RS232
• Keine Elastomere zum Abdichten 
• Fertigung im Reinraum
• Umschaltmöglichkeit für Gasart und Messbereich

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	Flow-SMS
	Kompakter Aufbau, dadurch geringe Totvolumina Platzsparend Servicefreundliche On-Top-Montage Rohrlose Konstruktion für verringerte Undichtigkeiten
	Mani-Flow
	Unbegrenzte Möglichkeiten Kompakter Aufbau Wirtschaftliche Lösungen bei geringen Anschaffungskosten Rohrlose Konstruktion für verringerte Undichtigkeiten
	Metal-Sealed
	Metallisch gedichtet Standard in der Halbleiterindustrie Hohe Leckdichtigkeit Messbereiche: 0,1 mln/min...50 ln/min N2