Die Massedurchflussmesser und Regler dieser Baureihe sind für die hohen Anforderungen der Halbleiter- und Beschichtungsindustrie und für sehr aggresive Gase entwickelt worden. Metallische Abdichtung nach aussen bei hoher Leckdichtigkeit sowie die optionale Reinraumfertigung und Elektropolierung aller medienberührten Teile sind die Hauptmerkmale dieser Baureihe.
Durch die modulare Bauweise sind Absperrventile, Filter, Regelventile, Drucksensorik und Massedurchflusssensoren in einem oder mehreren Gerätekörpern miteinander kombinierbar. Die Module können ohne Ausbau der Grundkörper aus der Leitung ausgetauscht werden. Durch das minimale Totvolumen und die metallische Abdichtung wird dieser Gerätetyp aus sicherheitstechnischen Gründen auch für sehr aggressive und toxische Gase eingesetzt.
Neben den Durchflussmessern- und Reglern sind auch Druckmess- und Regelgeräte in dieser Bauform erhältlich.
| Typische Anwendungen: | - Halbleiterfertigung
- Beschichtungstechnik
- Solarzellenherstellung
- Glasfaserherstellung
- Verbrauchsmessung von Sondergasen
- Messen und Regeln von aggressiven Gasen
- Analysentechnik
|
| Messbereiche: | 0,1 mln/min ... 150 ln/min N2 |
| Dynamik: | 1:50 (2...100 %), größer auf Anfrage |
| Druckstufen: | Vakuum, PN64, PN100
höher auf Anfrage |
| Material: | Edelstahl, andere auf Anfrage |
| Analoge Signale: | |
| Digitale Schnittstellen: | - RS232
- Profibus
- DeviceNet
- Modbus
- Flowbus
- EtherCAT
|
| Versorgung: | 15...24 Vdc |
Noch mehr Details finden Sie im Prospekt.
Prospekt-Download
Jetzt persönlich beraten lassen: (0 69) 82 97 76-0