Die Vielfalt der möglichen Dotierungsverfahren, wie z.B. Ionenimplantation, Neutronen-Transmutationsdotierung und weitere, erfordert genaue und hochreine Massedurchflussregler für die Dotierung.  Die Verwendung von hochreinen Gasen,  wie z.B. Phosphor, Gallium und Arsen erfordert die Auswahl des korrekten Dichtungsmaterials oder sogar metallisch gedichtete Geräte. Bei der Auslegung der passenden Geräte ist nicht nur theoretische sondern auch praktische Erfahrung gefragt.