Die Plasmatechnologie als Schlüsseltechnologie leistet in den verschiedensten Anwendungsgebieten, wie Verpackung, Automotive, Elektronik, Optik und Energietechnik bis hin zu Medizintechnik, Biotechnologie und Diagnostik einen immer wichtigeren Beitrag. Auch Anwendungen im Bereich der Nanotechnologie nehmen an Bedeutung zu. Welcher der Prozesse das Nettoergebnis der Behandlung bestimmt – ob schließlich eher geätzt oder beschichtet wird – hängt von verschiedenen Parametern bei der Prozessführung ab. Eine hohe Variabilität bei den Prozessparametern spielt bei der Entwicklung eine wichtige Rolle. Eine Umschaltmöglichkeit der kalibrierten Gasarten ist selbstverständlich. In der Produktion kommt es schließlich auf hohe Genauigkeit und Reproduzierbarkeit an. Eine digitale Anbindung zur Prozessautomatisierung wird vorausgesetzt.