Die präzisen Absolutdruckmessröhren der Baureihe CDG messen den Druck unabhängig von der Gasart im Bereich von 1330 mbara bis 1x10-5 mbara.
Die Kapazitätsdruckmessröhren verwenden anstelle der üblichen Metallmembranen solche aus Aluminiumoxid-Keramik. Diese sind äußerst korrosionsbeständig, was selbst unter anspruchvollsten Einsatzbedingungen zu höherer Zuverlässigkeit, Stabilität und einer längeren Standzeit führt.
Das Modell CDG025 ist temperaturkompensiert. Die Modelle CDG045 bis CDG160 sind zusätzlich temperaturgeregelt. Durch das Aufheizen - je nach Anwendung auf bis zu 160°C - wird die Kondensation von Prozess- und Prozessnebenprodukten auf der Membran weitestgehend vermieden. Gleichzeitig wird die Elektronik und das Sensorelement auf konstante Temperatur geregelt, was eine höhere Genauigkeit und Stabilität zur Folge hat. Unterstützt wird diese noch durch die integrierte Partikelschutzkammer. Kondensation findet nicht auf der Membran statt, sondern in der Schutzkammer auf dem Plasmaschild.
| Typische Anwendungen: | - CVD, PECVD, Diffusion, Oxidation und andere Halbleiterherstellungsverfahren
- Chemische Verfahrenstechnik
- Umweltmesstechnik
- Lebensmitteltechnologie
- Medizintechnik
- Referenzsensor zur Prüfmittelüberwachung
gemäss DIN/ISO 9000 |