Die Verdampfer der Baureihe CEM (Controlled Evaporater Mixer) bringen eine Flüssigkeit gezielt in die Gas- bzw. Dampfphase. Hierbei wird ein - mittels einem LIQUI-FLOW oder CORI-FLOW Massedurchflussregler genau dosierter - Flüssigkeitsstrom mit einem Trägergas vermischt und in eine Verdampfungskammer injiziert.
Im nachfolgenden Wärmetauscher wird die notwendige Verdampfungsenergie zugeführt. Am Ausgang des Systems steht ein pulsationsfreier Dampf zur Verfügung.
Mit dem patentierten CEM-System ist es möglich, Flüssigkeiten in einem sehr grossen Dynamikbereich sehr genau zu verdampfen. Durch einfaches Verstellen der Gas- oder Flüssigkeitsdosierung wird das Mischungsverhältnis und damit die Zusammensetzung des Dampfes bzw. Konzentration der Feuchte direkt und schnell eingestellt. Medien mit unterschiedlichen Dampfdrücken können mit Gasgemischen direkt in diesem Gerät verdampft werden.
Mit vier Systemen (W101A, W102A, W202A, W303) können Raten von 0,01 g/h bis 1,2 kg/h Flüssigkeit (Wasserbasis) verdampft werden. Medien mit geringerer Enthalpie können in wesentlich größeren Mengen verdampft werden. Der Druckbereich reicht von Hochvakuum bis zu 100 barü. Über einen Spül- und Evakuierungsanschluss kann vor dem Betrieb ein Inertgas in den Verdampfer geleitet oder das System evakuiert werden. Dadurch ist ein Einsatz des CEM auch für stark reaktive Medien problemlos möglich.
| Typische Anwendungen: | - Halbleiterfertigung
- Beschichtungstechnik (z.B. CVD, MOCVD)
- Silandosierung (z.B. mit TiCl4, TEOS)
- Kalibriergaserzeugung im ppm-Bereich
- Feuchterzeugung für Brennstoffzellen
- Erzeugung katalytischer Gemische
- Kalibrierung von Feuchtesensoren oder Massespektrometern
- Herstellung von Solarzellen
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